Un instrument LIBS se compose généralement de trois parties:
- Un laser impulsionnel (voir ppt Olivier Musset, Dijon Journées LIBS_Musset_les lasers pour la LIBS).
- Un système optique de mise en forme et de focalisation du faisceau laser associé à un système optique de collecte de l’émission du plasma.
- Un dispositif de détection et d’analyse de la lumière du plasma.
Les lasers utilisés sont généralement des lasers nanoseconde, très fréquemment de type Nd:YAG aux différentes harmoniques (1064, 532, 355 et 266 nm). Ils délivrent une énergie par impulsion variable selon le modèle, du µJ à plusieurs centaines de mJ. L’ablation laser en régime nanoseconde est obtenue lorsque l’éclairement sur la cible atteint quelques centaines à quelques milliers de MW/cm², en fonction du matériau et de la longueur d’onde du laser.
Le système de détection se compose habituellement d’un spectromètre et d’un détecteur, de l’électronique de détection et d’un ordinateur.